Каждый распил — это затраты. Каждый выпуск должен быть стабильным.

Для переработчиков кристаллов и производителей подложек экономика резки проста: чем больше пригодных подложек Вы получаете с одного слитка, и чем меньше последующей доработки и полировки требуется, тем ниже себестоимость пластины. Итог этих параметров определяется именно на этапе резки.
Слитки кремния, болы SiC, сапфира и заготовки из кварцевого стекла — это дорогостоящие материалы, и их стоимость не снижается. Одновременно требования к качеству подложек после резки — вариация толщины, качество поверхности, глубина подповерхностных повреждений — становятся всё жёстче по мере роста требований устройств. Резка должна обеспечивать как высокий выход материала, так и стабильное качество на протяжении всего производства.

Потери материала на дорогостоящем сырье

Для SiC и сапфира стоимость материала за единицу объёма такова, что разница между шириной пропила 0,35 мм и 0,5 мм по всей производственной партии — это уже существенная статья расходов. Выбор диаметра каната и оптимизация параметров резки напрямую определяют, сколько пригодных подложек выходит с каждого слитка или бола.

Потери материала на дорогостоящем сырье

Для SiC и сапфира стоимость материала за единицу объёма такова, что разница между шириной пропила 0,35 мм и 0,5 мм по всей производственной партии — это уже существенная статья расходов. Выбор диаметра каната и оптимизация параметров резки напрямую определяют, сколько пригодных подложек выходит с каждого слитка или бола.

Резка, профилирование и шлифование для производства подложек

Мы предлагаем алмазно-канатную резку и поверхностное шлифование на всех этапах обработки подложек — от распиловки слитков и болов до оторцовки, профильной резки, снятия повреждений после реза и контроля толщины. Каждый проект настраивается под материал, геометрию подложки и требования к качеству.

Минимальная ширина пропила — больше подложек с каждого слитка

Канаты диаметром от 0,35 мм позволяют получать ширину реза существенно ниже, чем при использовании дисковых инструментов. На дорогих материалах — таких как SiC и сапфир — дополнительное количество подложек, получаемых с каждого бола за счёт узкого пропила, позволяет компенсировать разницу в стоимости методов на всей партии.

Контроль SSD — снижение затрат на полировку

Параметры резки — натяжение каната, подача, скорость — настраиваются для минимизации глубины подповерхностных повреждений при резке. Меньшая глубина SSD означает меньший объём снимаемого материала на доводке и полировке, сокращение длины цикла и сохранность толщины подложки после финишной обработки.

Стабильность вариации толщины за весь выпуск

Стабильность натяжения каната, точная подача и системный мониторинг износа — залог контроля вариации толщины по всей партии, а не только на первых экземплярах. Износ каната отслеживается и управляется так, чтобы качество реза в конце партии не уступало стартовым показателям, и отклонения последних изделий не приводили к браку в чистом выпуске.

Шлифование после резки — точная толщина и плоскостность

Шлифование после реза удаляет повреждённый слой и доводит подложки до целевых показателей по толщине и плоскостности для последующей полировки и эпитаксии. Контролируемое снятие снижает расход материалов на CMP и сокращает цикл полирования, повышая общий выход готовой продукции по всей линии.

Оборудование Dinosaw Machine для обработки полупроводниковых материалов

Мы работаем с тремя типами систем для производства полупроводниковых подложек. Индивидуальная настройка под материал, геометрию, объёмы и спецификацию качества входит в каждое решение — это не типовой проект.

ЧПУ-канатная пила — резка слитков и болей крупного формата

Линейка ЧПУ-алмазных канатных пил — основной комплекс для производства полупроводниковых подложек: от лабораторной высокоточной резки до крупносерийного раскроя слитков и болей. Это решение для заготовок крупного формата: преобразование кремниевых слитков, SiC-болей и сапфировых монокристаллов в пластины промышленного образца.
Станки поддерживают широкий диапазон размеров, позволяя работать с диаметрами слитков и длиной болей, характерными для отрасли. Применение канатов от 0,35 мм обеспечивает минимальную толщину реза и максимальный выход материала при работе с дорогостоящими кристаллами. Управление ЧПУ поддерживает стабильность подачи и натяжения по всей длине, сохраняя допуски TTV в рамках серии и между партиями.
Доступны различные компоновки — от компактных одноканатных прецизионных решений для НИОКР и малых серий до крупных многокоординатных систем для массового производства. 

Посмотреть канатные станки

Кольцевая абразивная канатная машина — слоистая, кольцевая и профильная резка

Кольцевые системы с абразивным канатом используют замкнутую петлю для высокоточной и низковибрационной резки полупроводниковых и оптических материалов. Варианты конфигураций решают разные производственные задачи.
Схема для резки пластин: для подложек и пластин из блоков и слитков — одно- и монокристаллический алюминий, пластины кремния, оптическое стекло, графит, разделка абразивных кругов. Диаметр каната от 0,35 мм.
Кольцевая конфигурация: для резки по окружности цилиндрических заготовок — оптическое стекло, кристаллы SiC и детали из графита с формированием дисков.
Профильная конфигурация: для сложных фигур — профилировка графита, хрусталя, композитов для авиации и технической керамики с криволинейной/комбинированной траекторией.

Обсудить конфигурацию канатной машины

Шлифовальный станок — удаление повреждённого слоя и доведение подложек

После резки шлифовка убирает дефектный слой, доводит подложки до заданной толщины и обеспечивает требуемую плоскостность для дальнейшей полировки и эпитаксиального наращивания. Наш вертикальный станок с поворотным столом позволяет получить ровную и однородную поверхность, при этом съём по всей плоскости контролируется.
Подходит для серийной обработки подложек с доведением по толщине и TTV. Снижает объём дополнительной обработки и сокращает цикл CMP на всей линии. Материалы: кремний, SiC, сапфир, кварцевое стекло, техническая керамика — параметры обработки задаются под каждый материал для оптимального баланса между скоростью снятия и качеством поверхности.

Подробнее о станке для шлифовки и полировки

Обработанные нами полупроводниковые материалы

Непосредственный опыт резки и шлифования по всему спектру полупроводниковых и оптических материалов, перечисленных ниже. Наши системы канатной резки используются для производственных и исследовательских задач — в том числе для серийной распиловки слитков и высокоточной резки отдельных компонентов. Дополнительно мы наращиваем компетенции в серийном производстве с жёсткими требованиями по вариации толщины и ширине пропила. Если Ваш материал отсутствует в списке, рекомендуем обсудить детали напрямую.

Dinosaw machine Featured image for Резка сапфира алмазно-канатной пилой для производства подложек для светодиодов и оптических компонентов
Dinosaw machine Featured image for Резка SiC-булей алмазно-канатной пилой для производства подложек силовой электроники
Dinosaw machine Featured image for Канатная резка для придания формы и обрезки крупных кремниевых слитков при производстве пластин
Показать ещё

Как компания Dinosaw Machinery работает с Вами

Компания Dinosaw не поставляет готовое оборудование. Каждая система проектируется, производится и вводится в эксплуатацию для конкретного проекта, под который она создана. Ниже описан этот процесс и перечень категорий компаний, с которыми сотрудничает Dinosaw.

Как строится взаимодействие по проекту

01

Первичное обсуждение

Мы начинаем с Ваших требований: материалы для обработки, производственные цели, условия площадки и сроки. Это инженерная беседа напрямую — не стандартная анкета.

02

Разработка спецификации

На основе обсуждения мы формируем конфигурацию оборудования: тип станка, размеры, инструмент, архитектуру управления и требования к интерфейсу — строго под Ваше применение.

03

Инженерная проверка и доработка

Спецификация передаётся Вашей технической команде для обсуждения. Мы рассматриваем замечания и дорабатываем конструкцию до финального согласования перед стартом производства.

04

Изготовление и документация по качеству

Производство осуществляется на собственной базе с полной документацией по качеству на всех этапах. Пакет документов предоставляется при поставке для поддержания Вашего процесса приёмки.

05

Пусконаладка, обучение и техническая поддержка

На площадке проводится ввод в эксплуатацию — подтверждение параметров согласно спецификации. Обучение операторов для Вашей команды. Постоянная техническая поддержка на протяжении всего жизненного цикла оборудования.

Наши возможности

Собственное производство

Мы проектируем и производим оборудование на собственной базе, полностью контролируя инженерные изменения, технологию изготовления, документацию по качеству и сроки поставки — критично важно, если Ваш проект не допускает задержки со стороны поставщиков.

Инжиниринговая команда R&D

Наши инженеры работают напрямую по Вашему техническому заданию. Спецификация формируется согласно условиям площадки, типу материала и требованиям к обработке — затем обсуждается с Вашей командой до финального согласования.

Конфигурация под проект

У нас нет одинаковых систем — каждый проект индивидуален. Каждый станок настраивается — а не адаптируется — строго под Ваш материал, геометрию, объем производства и технические требования.

Поддержка на площадке и дистанционно

Мы предоставляем сопровождение пусконаладки, обучение операторов и постоянную техническую помощь для каждого поставленного оборудования. Для международных проектов — точная документация, дистанционная диагностика и согласованные выезды на площадку по графику Вашей программы.

Для кого мы работаем

Конечные заказчики и производители

Заводы, производственные площадки и промышленные предприятия, которым требуется оборудование для собственного производства — для конкретного материала, новой линии или модернизации существующих мощностей. Мы работаем с Вами от технического задания до запуска оборудования.

Дистрибьюторы и агенты

Региональные дистрибьюторы и агенты, представляющие оборудование Dinosaw Machinery на местных рынках. Мы предоставляем техническую поддержку, документацию по продукту и совместное создание решений с учётом рынка для эффективного обслуживания Ваших клиентов.

Инженерные консалтинговые компании

Консалтинговые компании, разрабатывающие технические спецификации, оценку технологической осуществимости или проводящие экспертизу для промышленных проектов. Мы поддерживаем Вашу работу техническими данными, практическими ссылками и прямым инженерным сопровождением.

Если Вы подбираете оборудование для нового проекта, рассматриваете варианты на этапе технико-экономической оценки или ищете производственного партнёра для специализированных задач — мы готовы обсудить Ваши требования.

Получите простое решение

Онлайн-чат
Ms.Lizzy

Здравствуйте, это Lizzy из оборудования Dinosaw (не робот).  Какой станок (модель) Вас интересует? Пожалуйста, напишите нам в WhatsApp.

Чат в WhatsApp
Связаться с нами

Здравствуйте 👋 Чем можем помочь?