Время работы:8:30am-20:30pm

Получить бесплатное предложение

Каждый распил — это затраты. Каждый выпуск должен быть стабильным.

Для переработчиков кристаллов и производителей подложек экономика резки проста: чем больше пригодных подложек Вы получаете с одного слитка, и чем меньше последующей доработки и полировки требуется, тем ниже себестоимость пластины. Итог этих параметров определяется именно на этапе резки.
Слитки кремния, болы SiC, сапфира и заготовки из кварцевого стекла — это дорогостоящие материалы, и их стоимость не снижается. Одновременно требования к качеству подложек после резки — вариация толщины, качество поверхности, глубина подповерхностных повреждений — становятся всё жёстче по мере роста требований устройств. Резка должна обеспечивать как высокий выход материала, так и стабильное качество на протяжении всего производства.

Потери материала на дорогостоящем сырье

Для SiC и сапфира стоимость материала за единицу объёма такова, что разница между шириной пропила 0,35 мм и 0,5 мм по всей производственной партии — это уже существенная статья расходов. Выбор диаметра каната и оптимизация параметров резки напрямую определяют, сколько пригодных подложек выходит с каждого слитка или бола.

Потери материала на дорогостоящем сырье

Для SiC и сапфира стоимость материала за единицу объёма такова, что разница между шириной пропила 0,35 мм и 0,5 мм по всей производственной партии — это уже существенная статья расходов. Выбор диаметра каната и оптимизация параметров резки напрямую определяют, сколько пригодных подложек выходит с каждого слитка или бола.

Резка, профилирование и шлифование для производства подложек

Мы предлагаем алмазно-канатную резку и поверхностное шлифование на всех этапах обработки подложек — от распиловки слитков и болов до оторцовки, профильной резки, снятия повреждений после реза и контроля толщины. Каждый проект настраивается под материал, геометрию подложки и требования к качеству.

Минимальная ширина пропила — больше подложек с каждого слитка

Канаты диаметром от 0,35 мм позволяют получать ширину реза существенно ниже, чем при использовании дисковых инструментов. На дорогих материалах — таких как SiC и сапфир — дополнительное количество подложек, получаемых с каждого бола за счёт узкого пропила, позволяет компенсировать разницу в стоимости методов на всей партии.

Контроль SSD — снижение затрат на полировку

Параметры резки — натяжение каната, подача, скорость — настраиваются для минимизации глубины подповерхностных повреждений при резке. Меньшая глубина SSD означает меньший объём снимаемого материала на доводке и полировке, сокращение длины цикла и сохранность толщины подложки после финишной обработки.

Стабильность вариации толщины за весь выпуск

Стабильность натяжения каната, точная подача и системный мониторинг износа — залог контроля вариации толщины по всей партии, а не только на первых экземплярах. Износ каната отслеживается и управляется так, чтобы качество реза в конце партии не уступало стартовым показателям, и отклонения последних изделий не приводили к браку в чистом выпуске.

Шлифование после резки — точная толщина и плоскостность

Шлифование после реза удаляет повреждённый слой и доводит подложки до целевых показателей по толщине и плоскостности для последующей полировки и эпитаксии. Контролируемое снятие снижает расход материалов на CMP и сокращает цикл полирования, повышая общий выход готовой продукции по всей линии.

Оборудование Dinosaw Machine для обработки полупроводниковых материалов

Мы работаем с тремя типами систем для производства полупроводниковых подложек. Индивидуальная настройка под материал, геометрию, объёмы и спецификацию качества входит в каждое решение — это не типовой проект.

ЧПУ-канатная пила — резка слитков и болей крупного формата

Линейка ЧПУ-алмазных канатных пил — основной комплекс для производства полупроводниковых подложек: от лабораторной высокоточной резки до крупносерийного раскроя слитков и болей. Это решение для заготовок крупного формата: преобразование кремниевых слитков, SiC-болей и сапфировых монокристаллов в пластины промышленного образца.
Станки поддерживают широкий диапазон размеров, позволяя работать с диаметрами слитков и длиной болей, характерными для отрасли. Применение канатов от 0,35 мм обеспечивает минимальную толщину реза и максимальный выход материала при работе с дорогостоящими кристаллами. Управление ЧПУ поддерживает стабильность подачи и натяжения по всей длине, сохраняя допуски TTV в рамках серии и между партиями.
Доступны различные компоновки — от компактных одноканатных прецизионных решений для НИОКР и малых серий до крупных многокоординатных систем для массового производства. 

Посмотреть канатные станки

Кольцевая абразивная канатная машина — слоистая, кольцевая и профильная резка

Кольцевые системы с абразивным канатом используют замкнутую петлю для высокоточной и низковибрационной резки полупроводниковых и оптических материалов. Варианты конфигураций решают разные производственные задачи.
Схема для резки пластин: для подложек и пластин из блоков и слитков — одно- и монокристаллический алюминий, пластины кремния, оптическое стекло, графит, разделка абразивных кругов. Диаметр каната от 0,35 мм.
Кольцевая конфигурация: для резки по окружности цилиндрических заготовок — оптическое стекло, кристаллы SiC и детали из графита с формированием дисков.
Профильная конфигурация: для сложных фигур — профилировка графита, хрусталя, композитов для авиации и технической керамики с криволинейной/комбинированной траекторией.

Обсудить конфигурацию канатной машины

Шлифовальный станок — удаление повреждённого слоя и доведение подложек

После резки шлифовка убирает дефектный слой, доводит подложки до заданной толщины и обеспечивает требуемую плоскостность для дальнейшей полировки и эпитаксиального наращивания. Наш вертикальный станок с поворотным столом позволяет получить ровную и однородную поверхность, при этом съём по всей плоскости контролируется.
Подходит для серийной обработки подложек с доведением по толщине и TTV. Снижает объём дополнительной обработки и сокращает цикл CMP на всей линии. Материалы: кремний, SiC, сапфир, кварцевое стекло, техническая керамика — параметры обработки задаются под каждый материал для оптимального баланса между скоростью снятия и качеством поверхности.

Подробнее о станке для шлифовки и полировки

Обработанные нами полупроводниковые материалы

Непосредственный опыт резки и шлифования по всему спектру полупроводниковых и оптических материалов, перечисленных ниже. Наши системы канатной резки используются для производственных и исследовательских задач — в том числе для серийной распиловки слитков и высокоточной резки отдельных компонентов. Дополнительно мы наращиваем компетенции в серийном производстве с жёсткими требованиями по вариации толщины и ширине пропила. Если Ваш материал отсутствует в списке, рекомендуем обсудить детали напрямую.

Показать ещё

Как компания Dinosaw Machine работает с Вами

Компания Dinosaw Machine не поставляет стандартные решения. Каждая система проектируется, собирается и вводится в эксплуатацию индивидуально для конкретного проекта. Ниже описан этот процесс и категории наших заказчиков.

Как строится работа по проекту

01

Первичное обсуждение

Мы начинаем с Ваших требований: материалы обработки, производственные задачи, условия на площадке и сроки. Прямой инженерный диалог — без стандартных анкет.

02

Разработка технического задания

На основе обсуждения мы разрабатываем конфигурацию оборудования: тип станка, габариты, оснастка, архитектура управления и интерфейс под Вашу задачу.

03

Техническая экспертиза и итерации

Техническое задание передаётся Вашей инженерной команде для проверки. Совместно дорабатываем и утверждаем проект до финального согласования изготовления.

04

Изготовление и пакет документации

Собственное производство с полной документацией по качеству. Комплект документов предоставляется при поставке для поддержки Ваших процедур приёмки.

05

Пусконаладка, обучение и сопровождение

Пусконаладка оборудования на площадке для подтверждения соответствия ТЗ. Обучение операторов для Вашей команды. Техническая поддержка на всём жизненном цикле оборудования.

Наши возможности

Собственное производство

Мы разрабатываем и производим оборудование внутри компании, полностью контролируя инженерные изменения, последовательность сборки, документацию по качеству и сроки поставки — критически важно, если график Вашего проекта не допускает задержек.

Инженерный отдел R&D

Наши инженеры работают непосредственно с Вашим техническим заданием. Спецификация строится на условиях площадки, типе материала и требованиях обработки — затем совместно с Вашей проектной группой уточняется перед окончательной сборкой.

Индивидуальная конфигурация под проект

Мы не осуществляем типовых поставок, поскольку каждый проект уникален. Каждый станок настраивается под Ваш материал, геометрию, объём и требования по эксплуатации — не адаптируется, а разрабатывается индивидуально.

Поддержка на объекте и удалённо

Мы предоставляем сопровождение при вводе в эксплуатацию, обучение операторов и текущую техническую поддержку. Для зарубежных проектов реализуем документооборот, удалённую диагностику и выезды согласно Вашему графику.

С кем мы работаем

Конечные пользователи и производители

Заводы, перерабатывающие комплексы и промышленные предприятия, которым требуется оборудование для собственного производства — для определённых материалов, новых линий или модернизации действующих мощностей. Сопровождаем Вас с этапа запроса до запуска станка.

Дистрибьюторы и агенты

Региональные дистрибьюторы и агенты, представляющие компанию Dinosaw Machine на локальных рынках. Мы обеспечиваем техническую поддержку, документацию и совместную разработку решений под требования Ваших клиентов.

Инжиниринговые компании

Консультационные компании, разрабатывающие ТЗ, технико-экономические обоснования или технологические решения для промышленных объектов. Мы предоставляем технические данные, рекомендации по применению и прямую экспертизу для поддержки Ваших проектов.

Если Вы прорабатываете оборудование для нового проекта, рассматриваете возможные решения на этапе ТЭО или ищете производственного партнёра под конкретный запрос — готовы обсудить Вашу задачу.
大鲨鱼机械Lizzy黄
硬脆材料加工专家 / 销售主管
扫码即刻沟通
点击二维码添加微信
获取精密机械加工方案及报价

Получите простое решение

Онлайн-чат
Ms.Lizzy

Здравствуйте, с Вами Лиззи из компании Dinosaw (не робот).  Какой станок (модель) Вас интересует? Пожалуйста, свяжитесь с нами через WhatsApp

Чат в WhatsApp
Связаться с нами

Здравствуйте 👋 Чем можем помочь?